布局半导体产业链 氟化工龙头向高端突围

　　◎记者 刘立 王乔琪

　　近日，多氟多电子级氨水顺利通过全球芯片代工龙头企业认证并实现稳定批量供货。这是公司继电子级氢氟酸批量供应台积电后，第二款高端湿电子化学品叩开全球芯片代工龙头企业供应链大门。

　　“这标志着公司半导体电子信息材料从单一产品供货迈向多品类配套，核心技术创新取得跨越式、实质性突破，在国内高纯含氟电子化学品国产替代赛道跑出发展加速度。”多氟多相关负责人表示。

　　上海证券报记者调研发现，当前全球半导体产业稳步复苏，产业链自主可控成为行业发展关键，高纯含氟电子信息材料迎来广阔国产替代空间。近两年，国内部分氟化工龙头企业加快转型升级步伐，依托自身产业基础与技术积累，围绕湿电子化学品、含氟电子特气两大方向展开布局，向高端电子材料领域延伸。

　　新兴产业发展打开行业增量空间

　　氟化工产品因其优异的特性，广泛应用于新能源、半导体、航空航天等高端领域，为支撑新兴产业发展提供了关键的材料保障。

　　据了解，我国氟化工产业以萤石资源为基础，已经形成“萤石采选—无水氟化氢—氟碳化学品、无机氟化物、含氟精细化学品—氟聚合物—制品加工”的全产业链条，成为全球最大的氟材料生产国与消费国。

　　“我国主流氟化学品的生产技术水平已跻身世界先进行列，在全球市场中展现出强劲的综合竞争力。但是，行业发展也面临一些结构性瓶颈，其中最主要的就是中低端产品产能过剩与高端产品供给不足并存，通用产品市场陷入同质化低价竞争困境，价格逼近成本线，同时半导体级电子化学品等少数高端产品存在短缺，部分仍依赖进口。”有业内人士对记者坦言。

　　去年9月，工业和信息化部等七部门联合印发《石化化工行业稳增长工作方案（2025—2026年）》，提出聚焦集成电路产业链，支持电子化学品攻关，为氟化工向半导体高端材料转型提供政策支撑。

　　记者注意到，去年以来，多家氟化工龙头企业发布高端氟化工品项目规划与产能进展，大多涉及半导体、新能源产业链，行业转型路径清晰。

　　“从传统氟化工企业切入半导体配套材料的视角来看，国内高纯含氟电子化学品行业正朝着全产业链一体化、产品高端化、绿色低碳化、区域就近配套的长期方向稳步发展，成熟制程相关产品国产化渗透率持续提升，先进制程高纯度特气、超高纯湿化学品是核心增量赛道。”前述多氟多负责人认为，“当前在地缘供应链安全需求、海外相关产能收缩退出、国内晶圆产线持续扩产等多重因素叠加下，行业迎来难得的国产替代窗口期。具备全链条生产与定制化配套服务能力的氟化工企业，有望持续抢占存量替代市场，逐步攻坚高端含氟电子化学品赛道，缩小与海外头部厂商的技术与市场差距。”

　　湿电子化学品等成为布局重点方向

　　湿电子化学品是半导体生产过程中晶圆清洗、湿法工艺的关键用料，电子级氢氟酸等产品成为多家氟化工龙头重点布局品类，相关产能与项目正在陆续推进。

　　记者从多氟多获悉，公司G5级超高纯电子氢氟酸、氟化铵与BOE缓冲刻蚀液，广泛用于硅片清洗、氧化层湿法刻蚀、抛光后洁净处理，是8/12英寸晶圆制造基础耗材。据介绍，公司已形成湿电子化学品量产产能包括4万吨/年G5级电子氢氟酸，6000吨/年电子氟化铵等。

　　“公司电子氢氟酸、氟化铵、四氟化硅、氟氮混合气订单充足，产能利用率维持高位，内销及海外出口稳步增长，是电子材料板块核心营收来源。同时，公司硼同位素产品已在核电、半导体、健康医疗、航空航天等多个高端应用领域实现市场覆盖，随着产业布局持续深化与产能逐步释放，该业务未来市场增量空间较大，成长前景可期。”多氟多相关负责人告诉记者。

　　同时，巨化股份、昊华科技等氟化工龙头积极加码高端氟树脂等氟化工产品。

　　以巨化股份为例，公司近期表示，1万吨/年PFA产品已顺利投产，该产品属于半导体专用氟树脂，可应用于半导体湿法工艺环节。据了解，PFA又称可熔性聚四氟乙烯（可溶性PTFE），是综合性能优秀的氟塑料，广泛应用于机械、电子、医疗、半导体等领域，是高端制造核心基础材料。与此同时，公司还在稳步推进甘肃氟化工项目建设，持续完善半导体湿法材料配套布局。

　　行业龙头发力含氟电子特气

　　电子气体在集成电路制造过程中扮演着至关重要的角色，直接影响芯片的性能、集成度和成品率，在晶圆制造过程中占材料成本的13%至14%，是仅次于硅片的第二大晶圆制造材料。其中，含氟电子特气是芯片刻蚀、薄膜沉积等环节不可或缺的原材料，也是氟化工企业转型高端领域的方向之一。

　　多氟多现有完整的高纯氟气生产线，具备生产各类与氟气相关特种气体的研发能力和产业化基础，已有高纯氟氮混气、四氟化硅等与氟气相关的含氟气体的生产和销售；公司目前在半导体领域已形成较为成熟的技术积累与优质的客户基础。

　　“未来，公司将结合自身在氟化工、特种气体及高纯电子化学品领域的技术储备与产业链协同优势，密切关注六氟化钨等特种气体的市场动态，审慎评估公司新产品布局和产线建设，以满足下游客户实际需求。”多氟多相关负责人表示。

　　公开资料显示，昊华科技具备完整的氟化工产业链，业务布局覆盖氟碳化学品、氟聚合物、氟精细化学品及含氟锂电材料等领域，同时公司是国内电子特气行业技术领先的龙头企业，产品品种丰富，产业链完整，拥有国家重要的特种气体研发生产基地。

　　2025年年报显示，昊华科技目前正在西南地区新建6000吨/年三氟化氮装置，一期3000吨2025年已经投产，投产放量后进一步巩固了公司在电子特气行业的市场地位。