在全球半导体产业周期持续演绎与国产替代浪潮深化的双重节奏下，中国半导体设备企业的2025年上半年成绩单“冰火交织”。行业龙头北方华创以超160亿营收和32亿净利润的规模“断层”领先，展现出强大的抗周期能力；而另一方面，以中科飞测、精测电子为代表的细分赛道先锋，以超40%的研发投入占比搏杀技术突破。
营收分级明显
北方华创以161.42 亿元的营收遥遥领先，是唯一突破百亿的企业，在行业中处于领先地位。
其次是晶盛机电57.99 亿元、中微公司49.61 亿元、盛美上海32.65 亿元，营收处于50 亿级至30亿级的“第二梯队”。
多数企业营收集中在10 - 20 亿元区间，如屹唐股份、正帆科技、拓荆科技等，还有部分企业营收在10亿元以下，如京仪装备、芯源微、万业企业等。行业整体呈现“龙头引领，多数企业规模中等或偏小”的格局。
晶盛机电成唯一下滑企业
高增长梯队，万业企业以247.76%的同比增速一骑绝尘，是增长最迅猛的企业。由于公司旗下涉及地产、铋金属及化合物产品，拆分剥离来看，公司旗下凯世通的离子注入机业务收入约0.71亿元，同比增长126%，上半年新增交付8台设备，覆盖先进逻辑、存储等领域。
其次是拓荆科技54.25%、中科飞测51.39%，增速超50%；京仪装备45.38%、芯碁微装45.59%、中微公司43.88%，增速超40%，这类企业成长动力强劲，在细分领域抓住了行业机遇。
稳健增长梯队上，北方华创30.86%、盛美上海35.83%、华海清科30.27%、精测电子23.20%等，既保持增长，又具备一定营收规模，属于“规模与增长兼具”的类型。
低速/平缓增长梯，正帆科技8.88%、至纯科技5.25%、芯源微2.24%，增长相对平缓，因业务进入成熟阶段、市场竞争加剧等因素。晶盛机电同比下降42.85%，是表格中唯一营收下滑的企业。盛机电的核心业务是光伏硅片生长及加工设备，2025年上半年，光伏行业进入周期性调整阶段，下游硅片厂商扩产节奏放缓，设备订单交付与验收延迟，导致收入确认大幅减少。
盈利分化明显，龙头估值更合理
头部企业（如北方华创）与中小型企业（如精测电子、芯源微）盈利差距较大，反映行业集中度较高。
北方华创以25H1净利润32.08亿元显著领先，远超其他企业，体现其行业龙头地位。
中微公司7.06亿元、盛美上海6.96亿元和晶盛机电6.39亿元属于第二梯队，盈利表现稳健。
多数企业净利润在1亿元以下，如正帆科技0.94亿元、拓荆科技0.94亿元等，规模相对较小。
中科飞测净利润为-0.18亿元，仍处于亏损状态。
北方华创（44.55倍）、晶盛机电（37.26倍）、华海清科（38.84倍）等盈利稳定的龙头企业估值处于行业中等水平，市场认可其基本面和成长性。
屹唐股份（133.71倍）、芯源微（177.43倍）、中科飞测（801.55倍）等市盈率极高，市场对其未来成长性的高预期或当前盈利基数较低。如，芯源微是国内唯一可量产前道涂胶显影设备的厂商，清洗机市占率国内第一；半导体检测设备全球市场由KLA垄断（市占率 54.8%），中国大陆国产化率不足 5%，中科飞测产品替代市场空间超百亿。
至纯科技（-1038.90）和精测电子（-164.54）因净利润为负，PE为负值，需关注其盈利改善进展。
正帆科技（20.50倍）估值相对较低，可能与业务模式或市场预期有关。
量检测设备研发投入占比最高
整体研发强度高。其中中科飞测40.65%显著领先，精测电子23.17%和中微公司22.50%紧随其后，超半数企业（8家）研发占比集中在10%-20%区间。中科飞测、精测电子仍处于市场开拓和产品爬坡的早期阶段，需要投入大量资金用于新产品研发、现有产品升级迭代，以及拓宽产品线。
头部企业优势明显。北方华创研发投入达29.15亿元，远高于其他企业，位列第一；中微公司以14.26亿元居次。
除前两名外，其余企业研发投入均低于6亿元，其中超半数企业（8家）投入在1-4亿元区间，3家企业投入不足1亿元。
半导体设备行业整体研发投入强度高，头部企业通过大规模研发投入巩固技术优势，部分中小型企业则通过极高研发占比实现技术突破，行业竞争核心持续聚焦技术创新。
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